高纯硅是信息产业最基础的原材料,制备高纯硅的主要生产过程如下:
请回答:
(1)一个SiHCl3分子中含有氯原子的个数为 ▲ ;
(2)制备高纯硅的反应原理:SiHCl3(纯)+H2 高温 Si+3X,则X的化学式为 ▲ 。
只有答案
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